Учебное пособие. — 2-е издание, переработанное и дополненное. — Москва: Лаборатория базовых знаний, 2001. — 488 с.: ил.Рассмотрены основные аспекты микроэлектроники: физические, технологические и схемотехнические. Дается представление об уровне современной микроэлектроники, ее методах, средствах, проблемах и перспективах. Обсуждаются виды интегральных схем и схемотехника цифровых и аналоговых ИС. Во 2-ом издании отражены новые фундаментальные достижения в области микроэлектроники, используемые в настоящее время на практике.
Предназначена для студентов радиотехнических и радиофизических специальностей вузов. Может быть полезна широкому кругу специалистов, связанных с созданием и эксплуатацией радиоэлектронной аппаратуры на ИС.Предисловие ко второму изданию.
Предисловие к первому изданию.Предмет микроэлектроники.
Введение.
Интегральные схемы.
Особенности интегральных схем как нового типа электронных приборов.
Краткий исторический обзор.
Заключение.
Контрольные вопросы.Полупроводники.
Введение.
Структура полупроводников.
Носители заряда.
Энергетические уровни и зоны.
Распределение носителей в зонах проводимости.
Эффект поля.
Рекомбинация носителей.
Законы движения носителей в полупроводниках.
Контрольные вопросы.Полупроводниковые переходы и контакты.
Введение.
Электронно-дырочные переходы.
Контакты полупроводник-металл.
Граница полупроводник-диэлектрик.
Контрольные вопросы.Униполярные транзисторы.
Введение.
МДП-транзисторы.
Полевые транзисторы.
Контрольные вопросы.Физические принципы работы биполярного транзистора и тиристора.
Введение.
Принцип действия.
Распределения носителей.
Коэффициенты усиления тока.
Статические характеристики.
Малосигнальные эквивалентные схемы и параметры.
Переходные и частотные характеристики.
Тиристор.
Контрольные вопросы.Технологические основы микроэлектроники.
Введение.
Подготовительные операции.
Эпитаксия.
Термическое окисление.
Легирование.
Травление.
Техника масок.
Нанесение тонких пленок.
Металлизация.
Сборочные операции.
Технология тонкопленочных гибридных ИС.
Технология толстопленочных гибридных ИС.
Контрольные вопросы.Элементы интегральных схем.
Введение.
Изоляция элементов.
Транзисторы n-p-n.
Разновидности n-p-n-транзисторов.
Транзисторы p-n-p.
Интегральные диоды.
Полевой транзистор.
МДП-транзисторы.
Полупроводниковые резисторы.
Полупроводниковые конденсаторы.
Элементы ИС на полупроводниках группы А III 1 V .
Элементы пленочных ИС.
Контрольные вопросы.Основы цифровой схемотехники.
Введение.
Статический режим простейшего биполярного ключа.
Переходные процессы в простейшем биполярном ключе.
Ключ с барьером Шоттки.
Переключатель тока.
МДП-транзисторные ключи.
Помехоустойчивость ключей.
Бистабильные ячейки и триггеры.
Триггер Шмитта.
Контрольные вопросы.Основы аналоговой схемотехники.
Введение.
Составные транзисторы.
Статический режим простейшего усилителя.
Переходные процессы в простейшем усилителе.
Простейшие усилители на МДП-транзисторах.
Дифференциальные усилители.
Эмиттерные повторители.
Каскод.
Выходные каскады.
Стабилизаторы напряжения.
Стабилизаторы тока.
Контрольные вопросы.Интегральные схемы.
Введение.
Логические элементы на биполярных транзисторах.
Логические элементы на МДП-транзисторах.
Логические элементы на совмещенных биполярных и МОП-транзисторах (БиКМОП).
Логические элементы на полевых транзисторах с управляющим переходом металл-полупроводник (МЕП).
Параметры логических элементов.
Интегральные триггеры.
Запоминающие устройства.
Большие и сверхбольшие интегральные схемы.
Операционные усилители.
Надежность интегральных схем.
Заключение.
Контрольные вопросы.Заключение. Перспективы развития микроэлектроники.
Литература.

Учебно-методическое обеспечение дисциплины (модуля). 1. Степаненко И.П. Основы микроэлектроники

Основная литература

1. Степаненко И.П. Основы микроэлектроники. - М.: Лаборатория базовых знаний, 2002

2. Опадчий Ю.Ф. и др. Аналоговая и цифровая электроника. - М.: Гор. линия-Телеком, 2002, - 768 с.

Дополнительная литература

1. Гусев В.Г., Гусев Ю.М. Электроника Учебное пособие для приборостроительных спец. вузов.-2-е изд. перераб. и доп.-М: Высш. шк., 1991

2. Аваев Н.А., Наумов Ю.Е., Фролкин В.Т. Основы микроэлектроники. - М.: Радио и связь, 1991

3. Зи С. Физика полупроводниковых приборов: в 2 т. - М.: Мир, 1984

4. Барыбин, В.Г. Сидоров Физико-технологические основы электроники - CПб.: Лань, 2001

5. Токхейм Р. Основы цифровой электроники. Пер. с англ. - М.: Мир, 1988

6. Хоровиц. П., Хилл У. Искусство схемотехники. Т.1- Т.3. - М.: МИР, 1994

7. Ганский П.Н. Машинный анализ и расчет электронных схем: Учебное пособие.- М.: "АВС Паблиш", 1999

8. ПасынковВ.В.,Чиркин Л.К. Полупроводниковые приборы. - М.: Высш.шк.,1987

9. Секлоф С. Аналоговые интегральные схемы. Пер. с англ. - М.: Мир. 1988

10. Степаненко И.П. Основы теории транзисторов и транзисторных схем, изд.3-е, перераб. и доп. - М., «Энергия», 1973

11. ПасынковВ.В.,Чиркин Л.К. Полупроводниковые приборы. - М.:Высш.шк.,1987

12. Росадо Л. Физическая электроника и микроэлектроника. - М.: Высш. шк., 1991

13. Фролкин В.Т., Попов Л.Н. Импульсные и цифровые устройства: Учебное пособие для ВУЗов. - М.: Радио и связь, 1992

14. К. Шимони Физическая электроника. - М.: Энергия, 1972

15. Физическая электроника. - СПб: Ленингр. политехн. ин-т им. М.И. Калинина, 1975

16. Ефимов И.Е., Козырь И.Я., Горбунов Ю.И. Электроника. Физические и технологические основы, надежность. - М.: Высшая школа, 1986

17. Ефимов И.Е., Козырь И.Я., Горбунов Ю.И. Микроэлектроника. Проектирование, виды микросхем, функциональная электроника. - М.: Высш. шк., 1987

18. Тугов Н.М. Полупроводниковые приборы. - М., 1990

19. Электроника. Книга IV ГИС, под.ред. Митрофанова, 1987

20. Электроника. Книга V ИПС, под.ред. Митрофанова, 1987

21. Гершунский Б.С. Тугов Н.М. Основы электроники, 1977

22. Глебов Б.А.Чарыков Н.А.Жеребцов В.Г. Полупроводниковые приборы, 1990

23. Алексеенко А.Г., Шагурин И.И. Микросхемотехника, 1991

24. Алексеенко А.Г. Шагурин И.И. Пухальский Г.Н. Новосельцева Т.Я. Микросхемотехника. Проектирование дискретных устройств на интегральных микросхемах, 1990

25. Остапенко Г.С. Сборник задач и упражнений. М.:Радио и связь, 1989.

26. Остапенко Г.С. Усилительные устройства. Учебное пособие для вузов. М.:Радио и связь,1989.

Периодические издания

7.3.1 Журналы: «Электроника»; «Радио»; «Успехи зарубежной радиоэлектроники»; «Микропроцессорные средства и системы»; «Приборы и системы управления»; «Зарубежная радиоэлекроника»; «Приборы и техника эксперимента».

1. Степаненко, И. П. Основы микроэлектроники / И. П. Степаненко. – М.: Лаборатория базовых знаний, 2000. – 488 с.

2. Россадо, Л. Физическая электроника и микроэлектроника / Л. Россадо. – М.: Высшая школа, 1991. – 351 с.

3. Новиков, В. В. Теоретические основы микроэлектроники / В. В. Новиков. – М.: Высшая школа, 1972. – 352 с.

4. Павлов, П. В. Физика твердого тела / П. В. Павлов, А. Ф. Хохлов. – М.: Высшая школа, 2000. – 494 с.

5. Пихтин, А. Н. Оптическая и квантовая электроника / А. Н. Пихтин. – М.: Высшая школа, 2001. – 573 с.

6. Блохинцев, Д. И. Основы квантовой механики / Д. И. Блохинцев. – М.: Высшая школа, 1961. – 512 с.

7. Бондарев, Б. В. Курс общей физики. В 3 кн. Кн. 2. Электромагнетизм. Волновая оптика. Квантовая физика / Б. В. Бондарев, Н. Л. Калашников, Г. Г. Спиркин. – М.: Высшая школа, 2003. – 438 с.

8. Бондарев, Б. В. Курс общей физики. В 3 кн. Кн. 3. Термодинамика. Статическая физика. Строение вещества / Б. В. Бондарев, Н. Л. Калашников, Г. Г. Спиркин. – М.: Высшая школа, 2003. – 366 с.

9. Епифанов, Г.И. Физические основы микроэлектроники / Г. И. Епифанов. – М.: Современное радио, 1971. – 376 с.

10. Интегральные схемы и микроэлектронные устройства на сверхпроводниках / В. Н. Алфеев, А. А. Васенков, П. В. Бахтин и др. – М.: Радио и связь, 1985. – 232 с.

11. Игумнов, В. Н. Физические основы микроэлектроники: практикум / В. Н. Игумнов. – Йошкар-Ола: МарГТУ, 2008. – 188 с.

12. Игумнов, В. Н. Основы высокотемпературной криоэлектроники / В. Н. Игумнов. – Йошкар-Ола: МарГТУ, 2006. – 188 с.

13. Фистуль, В. И. Введение в физику полупроводников / В. И. Фистуль. – М.: Высшая школа, 1975. – 296 с.

14. Киреев, П. С. Физика полупроводников / П. С. Киреев. – М.: Высшая школа, 1975. – 584 с.

15. Епифанов, Г. И. Физика твердого тела / Г. И. Епифанов. – М.: Высшая школа, 1975. – 288 с.

16. Щука, А. А. Функциональная электроника / А. А. Щука. – М.: МИРЕЭ, 1998. – 260 с.

17. Гуртов, В. А. Твердотельная электроника / В. А. Гуртов. – М.: Техносфера, 2005. – 408 с.

18. Пека, Г. П. Физика поверхности полупроводников / Г. П. Пека. – Киев: Изд-во Киевского университета, 1967. – 320 с.

19. Технология тонких пленок. Т.1 / под ред. Л Майссела, Р. Гленга. – М.: Современное радио, 1977. – 664 с.

20. Технология тонких пленок. Т.2 / под ред. Л Майссела, Р. Гленга. – М.: Современное радио, 1977. – 768 с.

21. Технология толстых и тонких пленок / под ред. А. Ресмана, К. Роуза. – М.: Мир, 1972. – 174 с.

22. Драгунов, В. П. Основы наноэлектроники / В. П. Драгунов, И. Г. Неизвестный, В. А. Гридчин. – Новосибирск: Изд-во НГУ, 2000. – 332 с.

23. Кравченко, А. Ф. Физические основы функциональной электроники / А. Ф. Кравченко. – Новосибирск: Изд-во НГУ, 2000. – 444 с.

24. Нано- и микросистемная техника. От исследований к разработкам: сб. статей. – М.: Техносфера, 2005. – 592 с.

25. Миронов, В. Л. Основы сканирующей электронной микроскопии / В. Л. Миронов. – М.: Техносфера, 2004. –144 с.